
做 8 寸图案晶圆、先进封装、SiC 功率器件的制程工程师,常会被半导体清洗难题困扰:传统 SC-1 碱性清洗液极易腐蚀 Al 铝焊盘,HF 强酸废液处理成本高,有机溶剂 VOC 超标。深圳市羽杰科技自研MLJ-60870 中性半导体晶圆清洗剂,中性水基配方,兼顾颗粒去除与基材防护,实现半导体清洗材料国产替代。
一、半导体清洗行业痛点:传统酸碱液损伤铝焊盘
很多工厂沿用 RCA 标准酸碱清洗体系,长期使用暴露多重生产问题,也是工程师高频搜索的清洗难题:
碱性 APM 药液 pH 偏高,薄铝互连层、Al 焊盘清洗后出现针孔、氧化斑点,芯片开路报废,良率持续下滑;
含氢氟酸、硫酸强腐蚀药液,仓储运输属于高危危化品,环保审核压力大;
有机溶剂型光刻胶清洗剂 VOC 高,车间防爆要求严苛,槽液更换周期短,耗材成本高;
清洗后金属离子残留,晶圆表面颗粒二次吸附,无法满足亚微米洁净制程标准。
针对以上行业痛点,羽杰科技研发MLJ-60870 中性晶圆清洗剂,以 6.8-7.5 中性体系,规避酸碱腐蚀风险,适配全品类半导体湿法制程。
二、羽杰 MLJ-60870 是什么?产品基础理化参数
1、产品基础定义
MLJ-60870 是深圳市羽杰科技推出的SEMI 级高纯中性水基半导体专用清洗剂,主打带图案硅片、铝焊盘芯片湿法清洗,可直接替代进口晶圆清洗药液,适配兆声波、超声波、喷淋、浸泡全类型清洗设备。
2、核心理化指标(工程师搜索高频参数)
pH 值:6.8–7.5 温和中性,无氨水、HF、强酸、高 VOC 有机溶剂
外观:无色透明浓缩原液,超纯水 1:5~1:20 稀释上机
泡沫等级:低泡配方,无溢泡干扰清洗循环
环保资质:无磷、无重金属,通过 RoHS、REACH 洁净检测
离子管控:极低金属杂质,漂洗无表面活性剂残留,无二次离子污染
三、MLJ-60870 五大核心优势
1、铝焊盘零腐蚀,大幅提升晶圆良率
市面碱性半导体清洗液会侵蚀超薄 Al 焊盘、铝布线层,MLJ-60870 搭载专属中性缓蚀体系,8 寸带图案晶圆清洗后无针孔、无铝层氧化,从源头降低芯片开路报废率,是 Al pad 芯片专用清洗剂。
2、强效剥离 0.1μm 亚微米颗粒,抑制颗粒回吸
复合螯合 + 渗透活性配方,快速去除晶圆表面光刻胶残屑、粉尘颗粒、有机油脂、指纹污染;清洗过程稳定分散污染物,杜绝颗粒二次吸附,满足成熟制程洁净度要求。
3、宽工艺窗口,适配多设备、灵活稀释
MLJ-60870 中性晶圆清洗剂使用温度 40–65℃均可稳定作业,无需精准控温;稀释比例按需调整:
重度残胶 / 油污:1:5 稀释
常规图案晶圆清洗:1:10 标准配比
晶圆载具轻度清洁:1:20 稀释
槽液使用寿命长,减少药液更换频次,降低半导体工厂耗材综合成本。
4、绿色低危药液,简化废液环保处理
不含氟化物、强腐蚀危化组分,无燃爆安全隐患,仓储、运输管控门槛更低;清洗废液仅简单中和即可达标排放,大幅削减危废处置费用,轻松通过厂区环保核查。
5、产业链通用,一套药液覆盖前道 + 封测
无需分品类采购多种半导体清洗药剂,一套 MLJ-60870 中性清洗剂打通晶圆制造、功率器件封装、第三代半导体产线,简化工厂供应链管理。

四、全适配应用场景
▫️晶圆制造:8 寸带图案硅片、空白硅片预处理,去除光刻胶残渣、粉尘颗粒
▫️先进封装:倒装 FC、BGA、IGBT 功率模块、Al 焊盘芯片清洗
▫️第三代半导体:SiC、GaN 功率芯片、MEMS 精密微结构器件
▫️晶圆载具配套:晶圆盒、石英舟、陶瓷静电吸盘有机颗粒预处理
五、MLJ-60870 标准上机清洗 SOP 工艺
配液:超纯水稀释,常规晶圆推荐 1:10 配比
清洗段:45–55℃,兆声波 / 超声波清洗 3–8min
多级漂洗:超纯水溢流充分漂洗,消除药液残留
干燥:IPA 脱水 + 低温氮气烘干,晶圆无水痕水印
六、羽杰半导体清洗药液系列选型区分
很多客户混淆羽杰多款晶圆清洗剂,三款产品定位清晰,按需选型:
MLJ-60870:主推,带图案晶圆、Al 焊盘芯片中性清洗液
MLJ-6088:晶圆盒、PEEK/PFA 塑料载具专用清洗剂
MLJ-2508D:光刻掩膜版专用去胶清洗液
H2 七、客户高频 FAQ(抓取问答类长尾搜索词)
Q1:MLJ-60870 可以清洗铜布线芯片吗?
A:可以,中性缓蚀体系兼容 Cu、Al 金属层,不会腐蚀超薄金属互连结构。
Q2:对比进口 ZESTRON、KYZEN 清洗剂有什么优势?
A:同等洁净效果,国产药液供货周期短、价格更低,支持现场工艺定制调试,免费提供试样。
Q3:MLJ-60870 是否需要配套特殊清洗设备?
A:无需改造现有产线,兆声波、超声波、槽式浸泡、喷淋设备均可直接使用。
Q4:可以提供 MSDS、第三方检测报告吗?
A:咨询技术工程师即可免费获取完整 MSDS、洁净度检测报告、标准 SOP 文件。
八、羽杰科技厂家服务与试样申请渠道
深圳市羽杰科技深耕半导体精密电子化学品研发,自研晶圆、封测、金属表面处理全系列药液,自有实验室与量产产线,服务华南多家半导体量产工厂。
一站式配套服务:
免费样品测试,按需匹配产线工艺;
技术工程师上门现场工艺调试;
定制配方开发,适配特殊制程污染物;
批量稳定供货,25L 工业桶装标准包装。
有晶圆、先进封装清洗腐蚀、颗粒残留难题,想要领取 MLJ-60870 样品、获取完整清洗工艺方案?
评论区留言「试样」,半导体清洗技术工程师 1 对 1 对接定制方案;关注【深圳市羽杰科技】,持续获取晶圆湿法清洗制程干货、国产半导体材料解决方案。
本文 MLJ-60870 中性半导体晶圆清洗剂仅面向工业企业批量采购,操作需配套专业湿法清洗设备,严格遵循 MSDS 安全规范,作业做好个人防护。
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