晶圆激光切割保护液-羽杰科技


晶圆激光切割保护液-羽杰科技

       羽杰科技研发的YJ-1081水溶性镭射激光切割保护液,是一种用于晶圆激光切片工艺的高密度合成聚合物涂层,可以有效地覆盖和保护晶圆片表面,具有优异润滑性、浸润性、冷却性、分散性以及极压承载能力,从而大大降低切割阻力和应力,减少表面缺陷,防止因温差变化而导致芯片加工尺寸频繁变化;

       同时有效提高刀具使用寿命。高效持续缓蚀能力,具有分散及溶解金属表面氧化皮双重作用,使金属表面缓蚀效果优异。

       pH 中性、无刺激性气味、安全环保;

       泡沫极低、易清洗,无沥青渣形成;

       无硫/重金属/卤素/酚/亚硝酸盐/矿物油/动物油等;

       不含硅类物质,不产生硅油膜污染表面等负影响;

       产品质量以及性能极佳稳定性。

主要用途

       主要是专门针对晶圆切粒而开发的全合成水溶性切削液,以满足晶圆切粒时以及后道加工时的苛刻要求;

主要物理化学性能

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       外观:均质无色至浅黄色透明液体

       pH 值: 8.5±0.5

       摩擦系数:0.0516(785N, 1200 转/分钟,120 秒);

       比重(20℃,g/cm3): 1.150-1.180 g/cm3

       粘度(mm2/s, 40℃):13.36;

       表面张力:25.6mN/m;

       极压数据: Pb 值:≥1569N Pd 值:≥1961N;

       金属离子含量:重金属含量:≤10ppm;

       阴离子:卤素(以氯记)含量:≤10ppm

       水溶性: 与水完全互溶

包装:

       采用专业化工 HDPE 塑料桶而决不使用铁桶或镀锌桶,以避免对晶圆产生离子污染。200 公斤和 25 公斤;

注意事项:

       与强氧化剂和强碱强酸不兼容。

有效期:

       在原始包装条件下其有效期为一年 。

本文标题:晶圆激光切割保护液-羽杰科技

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